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同时通过对从清洗、轰击、到物料的振动与翻滚等全部工艺过程的论述,说明了金刚石覆镀TiN膜的实施过程。
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从IC生产线晶圆片旋转冲洗甩干工艺出发,介绍了半导体晶圆片清洗后的旋转冲洗甩干方法,以及新近开发研制的CXS系列旋转冲洗甩干机的技术原理、结构特点及工艺应用情况。
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